电气方面

电源问题：电源断电会导致真空泵停止工作，可能是供电系统故障、线路断路、保险丝熔断等原因引起。

缺相运行：如果电机接在两相电源上，未启用三相电源，会导致电机缺相运行，引起电流过大而跳闸。

电机故障：电机绕组短路、断路或接地故障，会使电流异常，触发保护装置跳闸。此外，电机绝缘损坏，导致绝缘电阻降低，也可能引发跳闸。还有电机轴承损坏，使电机运转阻力增大，电流升高，进而导致跳闸。

热保护器动作：可能是真空泵过载、电动机散热不良或脱水运行造成，也可能是热保护器故障产生误动作。

机械方面

异物堵塞：有异物进入泵腔内，会增加电机的负载，使电机电流升高，超过设定值时就会跳闸。

轴承故障：电机轴承或泵体轴承损坏、卡死，会使转动部件之间的摩擦力增大，导致电机过载跳闸。轴承润滑不良，也会引起轴承过热、损坏，进而影响真空泵的正常运行。

叶轮问题：叶轮与分配板之间的间隙过大或过小，会影响真空泵的性能和运行稳定性，可能导致电机负载异常而跳闸。叶轮磨损严重，会使真空泵的抽气效率下降，为达到相同的抽气效果，电机需要输出更大的功率，从而导致电流升高，引发跳闸。