高频放电，是指在高真空环境下，泵腔或真空室内残存少量气体分子，在高频电场、高压电场、电磁感应等外部能量作用下，气体被击穿、电离，形成持续或间歇性的辉光、火花、电弧类放电，并伴随高频电磁振荡的现象。
2026/03/09
2026/02/25
2026/02/25
工作液相关问题是吸力不足的最常见诱因。真空泵依靠水环形成密闭腔实现抽气，若工作液注入量不足，无法形成完整、厚度合适的水环，会导致腔室密封不严，气体泄漏，真空度直接下降
2026/01/26
2026/01/26
2026/01/13
2025/12/31
