按真空度分类

 低真空机组：工作压强高、排气量大，多用于真空室的粗抽以及气体负载大、工作压强高的场合，如真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥、真空脱气等装置中。主泵常用往复式机械泵、旋转油封机械泵、水蒸汽喷射泵、分子筛吸附泵、油蒸汽喷射泵、罗茨泵等。

 高真空机组：一般由罗茨泵与旋片泵等组成，可获得较高的真空度，适用于需要较高真空环境的工艺，如真空镀膜、真空热处理等。

 超高真空机组：工作压强在超高真空区域（<10⁻⁸Torr），能承受一定气体负载。如分子泵机组，结构紧凑通用性强，易于操作和维护；还有低温冷凝泵机组，由低温冷凝泵及制冷机组成，无需另用液氦或液氮。

 按工作方式分类

 干式真空泵机组：采用干式真空泵作为主泵，如干式螺杆真空泵、多级爪式泵等，能在无油或少油的环境下工作，避免了油污染问题，适用于对真空环境要求较高、不允许有油蒸气污染的场合，如半导体制造、电子工业等。

 湿式真空泵机组：以水环式真空泵等湿式真空泵为主泵，工作时需要使用水或其他液体作为工作介质，可抽除含有大量水蒸气或有腐蚀性的气体，广泛应用于化工、制药、矿山等行业。

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