真空泵机组常见分类及使用注意
2025-03-19
按真空度分类 低真空机组:工作压强高、排气量大,多用于真空室的粗抽以及气体负载大、工作压强高的场合,如真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥、真空脱气等装置中。主泵常用往复式机械泵、旋转油封机械泵、水蒸汽喷射泵、分子筛吸附泵、油蒸汽喷射泵、罗茨泵等。 高真空机组:一般由罗茨泵与旋片泵等组成,可获得较高的真空度,适用于需要较高真空环境的工艺,如真空镀膜、真空热处理等。 超高真空机组:工作压强在超高真空区域(<10⁻⁸Torr),能承受一定气体负载。如分子泵机组,结构紧凑通用性强,易于操作和维护;还有低温冷凝泵机组,由低温冷凝泵及制冷机组成,无需另用液氦或液氮。 按工作方式分类 干式真空泵机组:采用干式真空泵作为主泵,如干式螺杆真空泵、多级爪式泵等,能在无油或少油的环境下工作,避免了油污染问题,适用于对真空环境要求较高、不允许有油蒸气污染的场合,如半导体制造、电子工业等。 湿式真空泵机组:以水环式真空泵等湿式真空泵为主泵,工作时需要使用水或其他液体作为工作介质,可抽除含有大量水蒸气或有腐蚀性的气体,广泛应用于化工、制药、矿山等行业。 |