一、基础判断：快速确认是否存在漏气

 无需复杂工具，通过真空泵运行状态和压力变化即可初步判断，适合日常快速排查。

 保压测试（最直接方法）

 关闭真空泵进气口阀门，让泵运行至额定真空度后停机，观察真空表读数变化。

 若读数在 10-30 分钟内保持稳定（或仅轻微下降，具体需参考泵的型号精度），说明无明显漏气。

 若读数快速上升（比如几分钟内从 - 0.1MPa 升至 - 0.05MPa 以下），则确定存在漏气点。

 听运行声音

 正常运行时，真空泵声音应均匀稳定（如旋片泵的 “嗡嗡” 声、罗茨泵的 “低沉运转声”）。

 若出现 “嘶嘶”“吸气声” 或声音忽大忽小，可能是进气端密封不严，有空气持续渗入。

 摸泵体与管路温度

 运行一段时间后，正常情况下泵体温度会稳定在一定范围（如旋片泵约 40-60℃），管路无明显温差。

 若某段管路（尤其是接口处）温度异常偏低（比环境温度低 5℃以上），可能是该位置漏气，外界空气吸入时带走热量。

二、精准检漏：定位具体漏气点

 确认漏气后，需用专用方法排查具体位置，重点检查 “密封面” 和 “连接点”（如法兰、阀门、管路接口）。

 肥皂水检漏法（低成本通用）

 适用于常压或低真空系统（如真空度高于 - 0.05MPa 的场景）。

 步骤：将肥皂水（或洗洁精水，需搅拌出泡沫）均匀涂抹在疑似漏气点（法兰密封面、阀门接口、管路焊缝等）。

 判断：若涂抹处出现持续冒泡（气泡大小随漏气量变化，漏量大则气泡密集），则该位置为漏气点。

 真空计分段检漏法（高精度）

 适用于高真空系统（如真空度低于 - 0.09MPa），需搭配真空计（如电阻真空计、电离真空计）。

 步骤：1. 先关闭真空泵与系统的连接阀，单独检测泵体本身（若泵体保压正常，说明漏气在系统侧）；2. 再逐步打开系统各段阀门，每打开一段观察真空计读数，若某一段打开后真空度骤降，说明该段管路或部件漏气。

 氦质谱检漏法（专业级）

 适用于漏率极小的精密系统（如半导体、实验室设备），需借助氦质谱检漏仪。

 原理：向疑似漏气点外侧喷氦气，若系统内的检漏仪检测到氦气浓度升高，说明该位置漏气（氦气分子小，易穿透微小缝隙，漏率检测精度可达 10⁻¹²Pa・m³/s）。