一、什么是真空泵的高频放电

 高频放电，是指在高真空环境下，泵腔或真空室内残存少量气体分子，在高频电场、高压电场、电磁感应等外部能量作用下，气体被击穿、电离，形成持续或间歇性的辉光、火花、电弧类放电，并伴随高频电磁振荡的现象。

 这种放电不同于普通空气击穿，它只在特定真空区间内最容易发生，一旦出现，会表现为：泵内微弱发光、电流波动、真空度不稳、设备异响、电磁干扰增大等。在旋片泵、扩散泵、分子泵、离子泵等高真空机组中较为常见，尤其是分子泵和离子泵最易出现高频放电问题。

二、高频放电产生的主要条件与原因

 真空泵内出现高频放电，通常是真空度、电场、气体、结构四者共同作用的结果，典型诱因包括以下几方面：

 1. 真空度处于放电敏感区间

 气体放电存在帕邢定律：在某一特定压强范围内，气体最容易被击穿。

 低真空：气体密度大，不易电离放电；

 高真空、超高真空：气体太少，也难以放电；

 中低真空过渡区：分子平均自由程适中，最容易诱发高频辉光放电。

 真空泵在抽气中途、停机、漏气、返油时，容易进入这个危险区间，从而触发高频放电。

 2. 泵内存在高压或高频电场

 很多真空泵本身就带有电驱动、高频驱动结构，为放电提供了能量来源：

 分子泵：高频电机、变频驱动，泵内存在高频交变电场；

 离子泵、溅射离子泵：本身依靠高压电场工作，极易引发异常放电；

 真空泵配套电源：高频开关电源、高压电源，会向泵腔耦合电场。

 只要泵内真空条件合适，这些电场就会直接击穿残余气体，形成高频放电。